2026年9月18日星期五

我們需要什麼樣的半導體實驗室?

 我們需要什麼樣的半導體實驗室?


最近清華大學半導體學院院長林本堅教授談到經費不足的問題,我可以感覺到他的無奈,但同時也感覺到學校的無力感。我曾做過交大三個半導體及奈米中心的主任,也在美國的研究中心和半導體初創公司工作過,我知道建一個半導體實驗室要多少錢, 要花多少心血。政府要各學校全力發展半導體,常常是有目標沒方法,有口號沒經費。他們看到台灣電子產業的成功,就認為學術界也可以依樣畫葫蘆。這完全是兩碼子事。


台積電新建的研發中心花了900億新台幣,在學校這是不可能的事,如果認為學術界也能做台積電那樣的研發,那是做夢。那麼我們該做什麼研究,需要什麼樣的實驗室?半導體實驗室可以有很多種,端看我們的目的是什麼。


先講一個我過去在建國家毫微米實驗室(NDL 和TSRI的前身)的故事。1988年,國科會要我負責興建這個實驗室,目標是世界最頂尖的半導體實驗室,必須要有Class10的潔淨室,國家出錢,一定要是世界第一流水準,不可以打折扣。


我組織了一個團隊,費了九牛二虎之力,選址,設計,發包,施工。說老實話它超出我的能力範圍,也超出學校的能力範圍。那時台灣的半導體產業才正要起步,沒什麼人有這方面的經驗,上面給我這個任務卻沒有任何幫手。在學校建這種實驗室,經費只是其中一個問題,最大的困難是專業人才不足。我是一個做半導體研究的教授,不是建築師,不是廠務,也不是水電工。學校沒有提供任何技術上的支援,但頂頭上司倒不少,會計室,營繕組,購運組,每個都要插一腳,再加上層層法規的限制,讓我忙得焦頭爛額。這個實驗室能夠完成並且使用至今可以說是一個奇蹟。


工程進行到一半的時候,有一次一個東京大學的教授 Sakaki 來訪,他與我的研究領域相仿是很好的朋友。我帶他參觀這個實驗室,他看了之後大為驚訝,說:這要花多少錢啊?我可不敢用這樣的實驗室。我寧可要一間小的,沒有管制,可以隨意進出的實驗室。他的想法其實跟我一樣,對我這種作比較基礎半導體研究的人,根本不需要如此 fancy的實驗室。


可是我不是為自己建實驗室,是建一個國家實驗室,好讓所有人都能用這裡的空間和設備做研究。這個實驗室還有一個功能,就是作為國家的櫥窗,是要展示給國人和國際看的。我們興建的時間和台積電成立的時間差不多,後來實驗室所訓練的學生不知道有多少進了科學園區,成為國家半導體人才的搖籃。所以就這個成果來看,這個實驗室是成功的。但這是一個國家實驗室,是大家共有的,不是一個學校可以獨立支撐的,也不表示所有半導體實驗室都應該這個樣子。。


現在幾乎所有主要大學都成立半導體學院,要大量培養半導體人才,我們到底需要幾個這樣的實驗室?我們已經有了一個國家實驗室,難道還要在每個學校重複嗎?


在政府眼中,這些實驗室要做台積電的後盾,他們心裡想的大概也是二奈米三奈米的元件。這是不切實際的想法。我們要做最尖端的半導體研究不需要二奈米三奈米,要訓練這方面的人才也不需要二奈米三奈米。我們常被台積電唬的團團轉,以為要做他們的那種研究才是最尖端的研究,這完全錯誤。台積電的成功有一半是錢堆出來的,學術界要做的是為他們提升另外一半的能力。那是不需要那麼多錢的。


我曾在矽谷一家新創公司待過,他們生產非常先進的半導體元件,但用的是最克難的設備和潔淨室。他們的儀器幾乎全是二手貨,但有最好的技師會修機器,會把老舊的設備自動化,他們可以用十分之一的價錢建一條生產線,潔淨室也很克難,比起我們交大的還差一截。這些都不妨礙他們做出最好的元件。


學校經費不夠,不妨也這樣做,不用買全新的設備,設法把舊設備翻新。我們要訓練學生做實驗,而不只會用儀器。我在五十多年前讀台大物理系,大三大四時我修了三門實驗課。鄭伯昆教授教我們電子學實騐,近代物理實驗,和近代物理實驗專題。在幾乎沒有經費支援下,他自己設計實驗,架設儀器,大四時我的實驗專題是用 Electron-positron annihilation量測金屬的 Ferni surface. 我們用的東西全是自己做的。我們用最克難的方法做前沿研究,而且在過程中學會怎麼做實驗和做研究。在這麼艱困環境下,我學到的讓我受益無窮。現在學校的實驗室裡,多半是新的儀器,不是自己做的,儀器壞了也不會修。很多學生只知道如何使用儀器,至於它的原理卻一竅不通。這種訓練是不夠的。


現在摩爾定律幾乎走到盡頭,在學校裡該做的不是在現有的半導體技術上再往前推進,那是台積電的事,不是學校該做的。我們要做的是,新的材料,新的元件 concept, 和奈米結構的物理。我們要教學生的是基礎的物理化學和材料科學,而不是學習使用那些自動化的設備。將來在半導體技術上要有所突破,一定要有堅實的物理基礎,特別是量子力學。這些都是學校該做也做得到的。


 半導體實驗需要使用許多化學藥品,有毒氣體,純水和氮氣,溫度和濕度的控制等等,這都不是一般小型實驗室可以提供的。這必須是一個由國家出資的共用實驗室,如果每個學校都要蓋一個現代化的實驗室,那是不可能的。不僅經費龐大,營運起來也沒有效率。像我前面所說的,建這種實驗室應該交給專業的團隊,而不是讓少數幾個教授來負責,教授不是萬能的,他們的工作是教學與研究,而不是蓋房子。


在新竹地區的TSRI就是一個現成的共用實驗室,其他學校就不必自己另建。這個共用實驗室必須要有彈性,能夠提供所有人的研究需要。他不需要像園區大公司那樣的生產設備和潔淨度要求。


至於各個學校,仍然可以有自己的實驗室,半導體研究不是只有製程,像材料分析,元件測試,半導體物理等等,都非常重要,而他們多半不需要潔淨室。這些多樣性個別化的實驗室,才是研究人員真正能發揮創意的地方。


對於學校裡的研究,錢不是萬能的。錢可以買到儀器設備,但買不到創意也訓練不出優秀的工程師。各學校的半導體學院,該做的是加強基礎訓練,做一些公司做不到的研究,他要提供給工業界的,不是先進的技術,而是新的觀念和有能力創新的人才。